净化车间日常清洁流程(2025年标准)
一、人员准备规范
防护装备穿戴
更换防静电连体服(表面电阻1×10^6-10^9Ω)、口罩、头套及鞋套,禁止携带首饰、手表等个人物品24。
通过风淋室除尘(风速≥20m/s,时间≥15秒)后方可进入车间24。
工具准备
使用专用清洁工具:无尘纸、防静电拖把、洁净室吸尘器(配备HEPA过滤器)、去离子水及洁净室认证消毒剂35。
工具需存放于指定区域,与普通清洁设备隔离以避免交叉污染45。
二、清洁实施步骤
垃圾处理
每日定时清理垃圾桶,垃圾按生物污染、化学污染分类密封转运46。
生产线下方、设备间隙等隐蔽区域需重点检查(每班次至少2次)58。
表面清洁
地面:
使用防静电尘推由内向外单向除尘,顽固污渍用纳米海绵蘸去离子水擦拭25。
环氧树脂地面每周用防静电蜡保养(打蜡后表面电阻≤1×10^9Ω)58。
墙面/天花板:
每周用无尘布蘸90%去离子水+10%异丙醇混合液擦拭,遵循“自上而下”原则34。
设备与工作台:
生产结束后立即用75%酒精擦拭,精密仪器采用低纤维脱落无尘布37。
空气净化系统维护
每日清洁回风口滤网,每月更换初效/中效过滤器(压差报警阈值≥150Pa)68。
空调送风管道每季度深度清洁,防止微生物滋生67。
三、消毒与微生物控制
日常消毒
操作台面、门把手等高频接触区域每日用季铵盐类消毒剂(浓度500-800ppm)擦拭2次47。
洁净度100级区域每日紫外线照射30分钟(波长253.7nm,强度≥70μW/cm²)78。
周期性深度
每周采用汽化过氧化氢(VHP)对车间全域,残留浓度需≤1ppm78。
每月进行浮游菌采样检测,A级区微生物浓度需≤1 CFU/m³67。
四、清洁质量管控
实时监测
采用物联网传感器监测清洁后PM2.5(需≤5μg/m³)、温湿度波动(±0.5℃/±3%)68。
每班次使用ATP生物荧光检测仪验证表面洁净度(RLU值≤50为合格)78。
记录与追溯
清洁人员、时间、工具编号等信息录入MES系统,数据保存≥3年46。
异常事件(如微生物超标)需在1小时内启动追溯机制,排查24小时内操作记录67。
五、特殊场景处理
突发污染应急
液体泄漏时立即用吸附棉处理,污染区域用0.5%过氧乙酸消毒并封闭12小时78。
粒子计数器报警(≥0.5μm颗粒浓度突增20%)时暂停作业,启动FFU全速运行68。
换季维护
梅雨季增加除湿频次(湿度控制≤55%),冬季提前预热清洁用水至25℃防结露46。
通过上述流程,可系统性维持净化车间洁净度,满足半导体、医药等行业对ISO 14644、GMP等标准的合规性要求26。