全球首条零碳排半导体洁净车间投产

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详细信息

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台积电南京工厂近日建成全球碳中和12英寸晶圆洁净车间，通过国际ISO 14644-1:2025 Class 1认证，单位产值能耗较传统车间降低42%58。

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项目采用三重能源方案：屋顶光伏（年发电180万度）+地源热泵（能效比5.8）+氢燃料电池备用系统，实现绿电供应68。

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创新性使用石墨烯气凝胶墙体材料，导热系数低至0.018W/(m·K)，配合AI驱动的风量动态调节系统，年省电费超2300万元56。

‌第四段‌

实测数据显示，5nm制程良品率提升1.2个百分点，每片晶圆碳足迹减少3.2kg CO₂当量58。

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该模式已列入工信部《绿色半导体工厂建设指南》，预计2026年前将在行业推广50座同类车间614。

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