半导体净化车间的设计思路和注意事项

2021-07-01 10:00:21

半导体净化车间的设计思路和注意事项

1、半导体净化无尘车间内部要保证尘埃微粒只出不进,所以净化车间室内要保持在一个大于大气压的环境中。此项要求将经过净化设备的空气源源不断地通过大型鼓风机注入青岛净化工程车间。

2、为保持恒温恒湿,空调设备必须与上述鼓风加压系统配合使用。吹风机多长时间加压,空调器必须开多久。

3、所有净化设备的气流方向都是由上向下为主,因此,无尘净化车间内空间的设计或台面摆放应避免突兀,使尘埃、细菌等在无尘净化车间内回旋停滞的机会与时间减至程度。

4、半导体无尘车间所有获得的气源,包括吹干晶圆和机台空压所需的,都必须使用氮气(98%),吹干晶圆所需的氮气甚至高纯氮99.8%以上。

青岛净化工程有限公司在半导体无尘车间建设过程中,除了主体结构的施工以及上述几个重点难点外,还有洁净建筑装饰工程、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体等)的安装、真空系统及其管道的安装、化学品供应系统及其管道的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防安全报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、各种通风系统和管道的安装、消防安全报警系统及其控制设备的安装、配电线路的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。

灵煜净化是一家从事空气净化环保设备的销售、开发、生产、加工及无尘洁净厂房设计施工安装的专业公司,涉及行业广泛主要有GMP认证制药企业、医疗保健品行业、电子行业、检测实验室、食用菌行业,QS认证食品行业、精细化工精密仪器等美容化妆品行业的中央洁净空调系统,机械制造企业空气净化环保工程及智能控制系统。如有需求,欢迎致电咨询。